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產(chǎn)品中心光學精密測量儀測量分析顯微鏡PZ-CS3500A3D輪廓測量顯微鏡
產(chǎn)品簡介
3D輪廓測量顯微鏡采用的位移矯正和邊緣識別，邊緣修正技術，可以*消除圖像邊緣鋸齒狀。是低倍（光學<2000X.視頻<10000x）情況下電鏡的理想替代。遠遠超出常規(guī)平面檢測（包括電鏡）的范圍。將光學顯微鏡的使用提升到新的高度。是顯微技術的發(fā)展。
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3D輪廓測量顯微鏡
系統(tǒng)輕松解決以上不足，*突破顯微鏡的光學 固有限制。可以在10秒之內得到樣品的三維立體圖像。可以輕松的對樣品不同高度進行優(yōu)質成 像，得到平面優(yōu)質圖片，繼而構建3D模型，并通過智能測量模式，準確測量三維空間尺寸。在得到優(yōu)質平面圖像/3D圖像的同時，本系統(tǒng)還提供共焦點云的全自由度模型三維觀察使得用戶能夠從任意角度觀察樣品，系統(tǒng)通過一體化的設計，可以實現(xiàn)高速自動顯微鏡3D觀察、測量。
3D輪廓測量顯微鏡技術要求
光源是數(shù)碼成像的基礎之一，正確匹配的照明模式是展現(xiàn)樣品細節(jié)的必需條件，系統(tǒng)所采用的照明裝置，均為機器視覺系統(tǒng)所用光源。具有光譜范圍廣，色彩真實，形態(tài)多樣，長壽命（大于3萬小時），根據(jù)不同用途，有多種結構設計，能組建復式照明技術，配合數(shù)字消光技術（HDR)，能展現(xiàn)樣品細節(jié)。
高精度壓電位移平臺實現(xiàn)納米級運動：
全新的壓電位移平臺可實現(xiàn)納米級高分辨率及精度、毫秒至亞毫秒級快響應速度、簡便的控制方式、通過超薄的設計，減輕了整體重量，在運動中具有*準確性，與光譜共焦技術實現(xiàn)結合，可實行大范圍精準掃描，得到計量級結果
光譜共焦技術具有*泛的材質適應性、穩(wěn)定性、檢測效率：
基于白光色散技術的光譜共聚焦鏡頭，具有廣泛的測量適應性，除常規(guī)材料之外，即使在光滑的玻璃表面、研磨后的鏡面材料，透明膠水層、薄膜材料均能實現(xiàn)有效的測量，其Z向分辨率可達到10nm以下，配合高精度的壓電位移臺，能對樣品實現(xiàn)大面積準確輪廓測量。得到的輪廓模型更可與光學景深圖像融合，最終得到計量級的彩色3D模型。
技術參數(shù)
PZ-CS3500H（手動） | PZ-CS3500A（全自動） | ||||||
光學系統(tǒng) | 光學系統(tǒng) | 無限遠共軛防塵光學系統(tǒng) | |||||
變焦倍率 | 12：1 超大變倍比 | ||||||
變焦方式 | 電動變焦 | ||||||
工作距離 | 80mm 標準1X物鏡,24X-280時 | ||||||
倍數(shù)識別 | 自動識別放大倍率 | ||||||
顯微相機 | 圖像傳感器 | 1/1.8英寸，高速彩色CMOS芯片，1000萬像素 | |||||
幀速率 | 60幀/秒 | ||||||
圖像分辨率 | 最高1000萬像素（4400X2300） | ||||||
色彩還原 | 高性能色彩引擎Ultra-FineTM還原技術 | ||||||
HDR功能 | 支持 | ||||||
照明裝置 | 視覺照明器 | 高亮度LED照明 | |||||
光源壽命 | 30000小時（設計值） | ||||||
照明方法 | 明場 | 標準 同軸光源模式 | |||||
暗場 | 單光源 常規(guī)觀察模式 | 雙光源系統(tǒng) 常規(guī)+深孔觀察模式 | |||||
斜射 | 四分區(qū)照明模式（軟件控制） | ||||||
偏光 | 標準（可選） | ||||||
微分干涉 | 標準 微分干涉需選擇專用干涉鏡頭（可選） | ||||||
透射 | 標準（可選） | ||||||
聚焦與行程 | 聚焦方式 | 手動聚焦+自動聚焦 | |||||
電動行程 | 電動升降120mm，最大可觀察150mm高度樣品 | ||||||
觀察角度 | 支座垂直與傾斜 | 垂直觀察模式/傾斜觀察模式（-90o- +90o） | |||||
平臺旋轉 | 載物平臺360o旋轉觀察 | ||||||
傾斜角度顯示 | 不支持 | 支持（可選） | |||||
光學物鏡組 | 低倍觀察物鏡 | 1X標準物鏡 工作距離90mm | |||||
手持觀察物鏡 | 0-250X放大倍率 智能顯示倍數(shù)，接觸式穩(wěn)定觀察 聚焦性質 ：一鍵式自動聚焦功能 | ||||||
高倍觀察物鏡 | LY-LENS5X | LY-LENS10X | LY-LENS20X | LY-LENS50X | LY-LENS100X | ||
長工作距離 | 長工作距離 | 長工作距離 | 長工作距離 | 長工作距離 | |||
光譜傳感器 | 白光干涉原理 | 0.1mm-25mm量程，最高分辨率0.2nm,多種型號（選配） | |||||
精密平臺 | 行程范圍 | 手動單模式 70mmX50mm | 雙模式：手動70mmx50mm | ||||
平臺精度 | 0.1mm | 壓電位移臺：50nm | |||||
承重最大值 | 2KG | 2.5KG | |||||
3D觀測 | 3D超景深 | 單視野3D觀測 | 單視野觀測、3D拼接觀測 | ||||
顯示 | 分辨率 | 24寸顯示器 1920X1080高清觀察 | |||||
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